.png)
使用等離子的表面處理裝置。著(zhù)重于“使用簡(jiǎn)單”的臺式
調取數據簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對應
多種用途。
●可變更電極構造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器， RF電源。
●可根據需求規格提供
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜
●界面活性處理
●表面污染物去除
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000
雅馬拓產(chǎn)品報價(jià)：0.00
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。
| 屬性 | 參數 |
| 等離子模式 | DP/RIE |
| 高頻電源 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | Max1000W |
| 有效電極尺寸 | W280×D280mm |
| 電極 | 平行平板 |
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） |
| 真空泵（標配） | 約1000L/min |
| 安全裝置 | 門(mén)檢測開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機構、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等 |
公司動(dòng)態(tài)
促銷(xiāo)信息
- 武漢分公司參展2023華中儀器展
- 東南儀誠售后維護服務(wù)月——石家莊、武漢、廣州站
- 廣州東南儀誠參展廣州國際分析測試及實(shí)驗室設備展
- 加強實(shí)驗室安全經(jīng)費設施保障，教育部公布最新《高等
- 如何選購合適的丁腈手套，SIMPLAB帶您了解
- 東南儀誠開(kāi)學(xué)季促銷(xiāo)活動(dòng)-eppendorf & lavibe通用
- 開(kāi)工大吉 | 實(shí)干篤行啟新程，攜手共進(jìn)譜新篇
- 奧豪斯 OHAUS 新一代便攜式電子天平來(lái)了，活動(dòng)好禮
- 東南儀誠雙11實(shí)驗器材回饋，有禮品免費申領(lǐng)！
- 奧豪斯OHAUS水分測定儀MB23使用指南